真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。真空泵可以定义为：利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。极限压力(极限线Pa以上的极高真空范围。

　　变容真空泵又分为：往复式，旋转式（旋片式、滑阀式、液环式、罗茨式、螺旋式、爪形转子式）及其它型式。

　　喷射真空泵工作原理：蒸汽喷射真空泵有一定压强的工作的真空泵设备，蒸汽通过拉瓦尔喷咀，减压增速，蒸汽的势能转变为动能并以超音速喷入混合室，与被抽介质混合，进行能量交换，混合后的气体进入扩压器，减速增压，动通转化为压强能，为了减少后级泵的抽气负荷，配置冷凝器，通过有一定温差的两种介质对流，进行热交换，达到冷凝高温介质目的，排到大气压。工作原理如下图所示：

　　在圆形泵体内，在相对于泵体中心线为偏心的轴上装有一个叶轮。转动的叶轮的离心作用迫使工作液通过通道流向腔体周边形成环流。

　　泵起作用时，被输送的气体混合物经过中间板上的吸入口进入叶轮，在泵入口处形成真空。气体混合物充入位于液环内径和叶轮叶片根部之间的叶轮腔内。KB体育当叶轮转动时，叶轮叶片浸没在液环中的程度增加，而使液环和叶轮叶片根部之间的容积减少。结果是气体混合物受到压缩，直至到达中间板中的排放口。气体混合物通过排放口排出。

　　● 单级单作用液环泵单级是指只有一个叶轮，单作用是指叶轮每旋转一周，吸气、排气各进行一次。这种泵的极限真空较高，但抽速和效率较低。

　　● 单级双作用液环泵单级是指只有一个叶轮，双作用是指叶轮每旋转一周，吸气、排气各进行二次。在相同的抽速条件下，双作用液环泵比单作用液环泵大大减少尺寸和重量。由于工作腔对称分布于泵轮毂两侧，改善了作用在转子上的载荷。此种泵的抽速较大，效率也较高。

　　真空度低，这不仅是因为受到结构上的限制，更重要的是受工作液饱和蒸气压的限制。用水作工作液，极限压强只能达到2000~4000Pa。用油作工作液，可达130Pa。

　　螺杆泵是利用齿轮传动同步反向旋转的相互啮合而不接触的左螺杆与右螺杆作高速转动，利用泵壳和相互啮合的螺旋将螺旋槽分隔成多个空间、形成多个级，气体在相等的各个槽内（柱形等螺距）进行传输运动，但无压缩，只有螺杆最末端的螺旋结构对气体有压缩作用。螺杆的各级间可形成压力梯度，以分散压差和提高压缩比。各部间隙和泵转速对泵的性能有很大影响。在设计螺杆各部的间隙时，要考虑膨胀、加工及装配精度和工作环境（如抽除含粉尘气体等）等。

　　气体压缩比高、有效的气体压缩、工艺材料可以从泵中通过（良好的灰尘处理）、良好的蒸汽输送和回收、能忍受热负载、抽空到和扩散泵交接。直接支持工业扩散泵

　　扩散泵：以油或汞蒸汽作为工作介质。汞扩散泵不带分馏装置，油扩散泵有分馏装置。

　　喷射真空泵是利用液体或者气体的高速射流携带被抽气体，使被抽容器内获得一定真空度的一种低真空泵。按工作介质可分为水喷射泵、大气喷射泵和水蒸汽喷射泵。

　　单级泵的极限压强为3.3kPa，两级串联可获得好一些的真空度，主要受水饱和蒸汽压的限制。可单独使用，也可作为其他真空泵的前级。

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