集微网报道，半导体专业设备是集成电路产业链上游的支撑性行业之一，行业技术门槛高、主要市场份额长期被国际巨头垄断。

　　以CMP设备为例，作为集成电路前道制造的关键工艺设备之一，全球CMP设备市场主要由美国应用材料和日本荏原占据，处于高度垄断状态。

　　不过，随着国内半导体产业持续发展，CMP设备市场需求也不断增长，在供应链自主可控的趋势下，华海清科、晶亦精微、杭州众硅等本土CMP设备厂商逐步崛起，并开始在国内外市场崭露头角。

　　近日，晶亦精微科创板IPO获上交所受理。据招股书披露，晶亦精微及公司前身四十五所CMP事业部一直致力于CMP设备的研发、产业化及技术自立自强。2017年，公司前身四十五所CMP事业部研制出国内首台拥有自主知识产权的8英寸CMP设备，并于当年进入中芯国际产线英寸CMP设备在集成电路制造生产线年，晶亦精微实现营业收入分别为9,984.21万元、21,966.14万元和50,580.82万元，净利润分别为-976.49万元、1,418.40万元和12,824.37万元，经营规模、利润规模均快速增长。

　　笔者选取了美国应用材料、日本荏原、华海清科及晶亦精微几家CMP设备厂商进行业绩对比，以供半导体投资者和行业人员参考。

　　与当前美国应用材料和日本荏原在全球CMP市场的垄断情况一样，无论营收还是净利润方面，美国应用材料和日本荏原都处于遥遥领先的状态。

　　当然，华海清科和晶亦精微主要专注在CMP设备领域，而美国应用材料是全球最大的半导体设备供应商之一，除CMP设备外，还生产原子层沉积设备、化学薄膜沉积设备、电化学沉积设备、物理薄膜沉积设备、刻蚀设备、快速热处理设备、离子注入机等。日本荏原是日本和中国台湾的CMP设备最大供应商，还是世界上最大的泵制造商之一，除生产CMP设备外，还包括干式真空泵、电镀系统、气体减排系统等，产品结构多元化，在原材料采购的议价能力、抗风险能力等方面都具备优势。

　　目前，华海清科也已经扩展了减薄设备、湿法设备、金属膜厚测量设备，同时布局了关键耗材与维保服务、晶圆再生等业务并初显成效。晶亦精微则尚处于发展初期，主打产品为8英寸CMP设备，产品结构相对单一，抗风险能力较弱。

　　从技术实力来看，美国应用材料的CMP设备已经应用于最先进的3nm制程工艺；日本荏原也应用于部分材质的3nm制程工艺；而华海清科已实现28nm制程的成熟产业化应用，14nm制程工艺技术处于验证中；晶亦精微方面，已经完全覆盖8英寸制程工艺技术，但2021年研制出首台12英寸CMP设备后，至今尚未实现收入。

　　不过，华海清科虽然8英寸和12英寸CMP设备均已完成量产，但产品主要聚焦于12英寸CMP设备及国内市场。而晶亦精微是国内唯一实现8英寸CMP设备境外批量销售的设备供应商，已在中国台湾实现批量销售，2020年至2022年，公司境外销售金额分别为1,166.72万元、10,517.32万元和5,781.17万元，主要客户为联华电子和世界先进。

　　伴随着全球晶圆产业不断向前发展，具有更高生产效率和更低单位耗材的12英寸已经逐渐成为了主流尺寸。因此，全球范围内很少再有新的8英寸纯晶圆代工厂出现，8英寸设备市场空间也有限，这或许也是晶亦精微境外收入波动较大的原因之一。

　　此外，由于8英寸CMP设备市场工艺技术成熟，价格和技术难度远低于12英寸设备。

　　以华海清科披露的设备单价来看，其300系列产品2019年至2021年平均价格分别为1624万元、2002.93万元及1949.07万元，而200系列产品2020年和2021年的平均价格分别为1018.14万元和1155万元，价格差异较大。

　　晶亦精微方面，8英寸CMP设备2020年至2022年平均价格为979.69万元、1022.36万元、981.16万元。对比来看，在8英寸CMP设备方面，晶亦精微的平均价格也不如华海清科。

　　值得一提的是，伴随着多数国际主流半导体设备厂商将资源更多地投入在12英寸设备研发及生产上，不再制造8英寸厂晶圆设备，同时叠加二手设备资源枯竭，就给本土8英寸设备厂商提供了市场机会。

　　当前，包括华海清科、晶亦精微、杭州众硅等厂商都在参与8英寸CMP设备市场的竞争，相对12英寸CMP设备面临的国际竞争压力较小，但后者才是被美国应用材料和日本荏原所占据的主流市场，进口替代空间更大。

　　从CMP的市场规模来看，根据SEMI数据，2020年至2022年，全球CMP设备市场规模分别为15.8亿美元、27.83亿美元和27.78亿美元，其中中国大陆CMP设备市场规模分别为4.29亿美元、4.90亿美元和6.66亿美元。

　　以销售数据推算，2020年至2022年，华海清科在中国大陆的CMP设备市场占有率约为12.35%、22.65%和34.08%；而晶亦精微在中国大陆的CMP设备市场占有率约为3.49%、6.87%和10.68%，不过，晶亦精微还有部分境外收入，因此其在中国大陆的CMP设备市场份额低于上述比例。

　　尽管在华海清科、晶亦精微、杭州众硅等本土厂商的努力下，CMP设备的国产化率越来越高。但根据海关总署统计，中国2022年化学机械抛光设备进口金额高达6.22亿美元，也就是说，美国应用材料和日本荏原在中国地区的CMP设备市场仍占据大部分份额，在全球市场更是处于垄断地位。

　　由此看来，本土厂商无论是在产品结构、技术实力，还是市场地位等方面都与国际CMP设备巨头还存在不小的差距，因此技术追赶之路还任重道远。

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