KB体育PECVDPECVD真空泵介绍真空泵介绍机械真空泵简介[简介]:真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。真空泵可以定义为：利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。极限压力以上的超高真空范围。[简介]:真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。真空泵可以定义为：利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。极限压力(极限线Pa以上的超高真空范围。真空泵性能的几个重要参数1．抽气速率(s；单位：m量与在试验罩上指定位置测得的平衡压力之比。简称泵的抽速。即在一定的压力、温度下，真空泵在单位时间内从被抽容器中抽走的气体体积。况下，趋向稳定的最低压力。即真空泵的入口端经过充分抽气后所能达到的最低的稳定的压力。的最重要的参量。1．抽气速率(s；单位：m当泵装有标准试验罩并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩上指定位置测得的平衡压力之比。简称泵的抽速。即在一定的压力、温度下，真空泵在单位时间内从被抽容器中抽走的气体体积。2．极限压力（极限真空）（单位：Pa）泵装有标准试验罩并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的最低压力。即真空泵的入口端经过充分抽气后所能达到的最低的稳定的压力。3．起动压力泵无损坏起动并有抽气作用的压力4．抽气量（Q单位：Pam-1；PaLS-1流经泵入口的气体流量。5．压缩比泵对给定气体的出口压力与入口压力之比。其中泵的抽气速率和极限压力两个参量是在实际应用中选配真空泵的最重要的参量。真空泵型号我们这台PECVD所用的泵型号：爱德华GV600-EH4200本泵由上泵和下泵两部分组成。上泵是罗茨泵，下泵是三级爪型一级罗茨结构。它利用了在低压下罗茨泵抽气比较有效，在较高压强下爪型干式真空泵比较有效的特点，将这两种泵各自的优势匹配起来，组成干式真空泵，其结果性能比较优良。技术指标1150L/S爪型干式真空泵爪型干式真空泵的优点:能够抽除气体携带的金属粉尘和矿物颗粒。爪型干式真空泵的工作原理在爪型干式真空泵的泵腔内，平行放置着一对转轴，即主动轴和从动轴。这一对转轴靠连接在轴端的由电机驱动的啮合齿轮保持同步运转。爪型干式真空泵正是利用连接在两轴上的成对的爪型转子之间、转子与泵腔内壁之间以及转子与隔板之间以及转子与隔板之间进行有间隙、无摩擦的啮合所形成的密闭腔的容积的大小变化来完成吸排气过程。在爪型干式真空泵的泵腔内，平行放置着一对转轴，即主动轴和从动轴。这一对转轴靠连接在轴端的由电机驱动的啮合齿轮保持同步运转。爪型干式真空泵正是利用连接在两轴上的成对的爪型转子之间、转子与泵腔内壁之间以及转子与隔板之间以及转子与隔板之间进行有间隙、无摩擦的啮合所形成的密闭腔的容积的大小变化来完成吸排气过程。爪型干式真空泵吸排气的过程具体抽气过程分四个冲程：第一个冲程如积较大的腔则处于不断缩小状态。第二个冲程：随着转子对的不断运动，如图（所示。腔正在不断加大，吸入的气体也越来越多，腔正不断缩小，当和排气口刚好接通时开始排气。第三冲程：如图所示，转子对继续运动，使腔变的最小，气体得到最大限度压缩，腔变的最大，吸气排气快要结束。第四冲程：如图腔合为一体，泵腔不再吸排气，进、排气口都自行关闭。这就是爪式真空泵抽气工作的全过程。具体抽气过程分四个冲程：第一个冲程如图（a）所示，开始转子对在初始位置，S腔的体积最小，而且和吸气口接通，S腔所处的容积不断增加，被抽气体进入S腔，体积较大的T腔则处于不断缩小状态。第二个冲程：随着转子对的不断运动，如图（b）所示。S腔正在不断加大，吸入的气体也越来越多，T腔正不断缩小，当和排气口刚好接通时开始排气。第三冲程：如图(c)所示，转子对继续运动，使T腔变的最小，气体得到最大限度压缩，S腔变的最大，吸气排气快要结束。第四冲程：如图(d)所示，S腔和T腔合为一体，泵腔不再吸排气，进、排气口都自行关闭。这就是爪式真空泵抽气工作的全过程。罗茨真空泵（简称罗茨泵）是一种旋转式变容真空泵。它是由罗茨鼓风机演变而来的。根据罗茨真空泵工作范围的不同，又分为直排大空罗茨泵（又称机械增压泵）和高真空多级罗茨泵。很明显我们这台是高真空多罗茨泵介绍罗茨泵的优点一般来说，罗茨泵具有以下特点：转子之间、转子与泵腔壁之间有间隙，泵内运动件无摩擦、不必润滑,泵腔内无油；转子形状对称，动平衡性良好，运动平稳，选择高精度的齿轮传动，运动时噪声低；结构紧凑，占地面积小，通常选卧室结构，泵腔内气体垂直流动，有利于被抽的灰尘或冷凝物的排除；选择适宜的转子型线和精细的研磨加工，可获得较高的容积效率；运转维护费用低；如图所示为罗茨泵的抽速随真空度变化的曲线，可以看出，在真空度较低时。泵达到最大抽速，在真空度较高时，抽速急剧下降，当真空度继续上升到最高值时，抽速甚至下降到零。但是，这种泵在抽速急剧下降以前，有一段抽速基本稳定的范围，在这个范围内允许真空度有较大的变化，但抽速颗保持基本不变。在真空度较低时，仍可获得稳定的大抽速，这就是罗茨真空泵的一大优点，它有效地弥补了油封机械泵和油扩散泵在该压强范围内抽速显著下降或不能工作的缺点。如图所示为罗茨泵的抽速随真空度变化的曲线，可以看出，在真空度较低时。泵达到最大抽速，在真空度较高时，抽速急剧下降，当真空度继续上升到最高值时，抽速甚至下降到零。但是，这种泵在抽速急剧下降以前，有一段抽速基本稳定的范围，在这个范围内允许真空度有较大的变化，但抽速颗保持基本不变。在真空度较低时，仍可获得稳定的大抽速，这就是罗茨真空泵的一大优点，它有效地弥补了油封机械泵和油扩散泵在该压强范围内抽速显著下降或不能工作的缺点。罗茨泵的工作原理罗茨泵是一种双转子的容积式真空泵。在泵内有两个形状对称的字形转子，两个转子彼此朝相反方向旋转，由轴端齿轮驱动同步转动。转子彼此无接触，转子与泵腔壁也无接触，其间通常有隙来密封。由于罗茨泵泵腔内无摩擦，转子可高速运转，一般为1500~3000r/min,抽气过程。泵的润滑部位仅限于轴承和齿轮，以及动密封处。泵没有往复运动部件，故可实现良好的动平衡。因而，罗茨泵运转平稳，转速高，尺寸小，可获得大的罗茨泵是一种双转子的容积式真空泵。在泵内有两个形状对称的8字形转子，两个转子彼此朝相反方向旋转，由轴端齿轮驱动同步转动。转子彼此无接触，转子与泵腔壁也无接触，其间通常有0.15~1.0mm的间隙，泵腔靠间隙来密封。由于罗茨泵泵腔内无摩擦，转子可高速运转，一般为1500~3000r/min,而且不必用油润滑，可实现无油清洁的抽气过程。泵的润滑部位仅限于轴承和齿轮，以及动密 封处。泵没有往复运动部件，故可实现良好的动平衡。 因而，罗茨泵运转平稳，转速高，尺寸小，可获得大的 罗茨泵的抽气过程如图为罗茨泵转子由0转到180的抽气过程。在0位置时（图中a）， 下转子从泵入口封入 与排气口相通。由于排气侧压强较高，引起一部分气体返冲过来。当转到 90 外。这时，上转子也从泵入口封入 体积的气体。如图为罗茨泵转子由0转到180的抽气过程。在0位置时（图中a）， 下转子从泵入口封入v 体积的气体。当转到45位置时（图中b），该腔与排气口相通。由于排气侧压强较高，引起一部分气体返冲过来。当转到 90位置时（图中c），下转子封入的气体，连同返冲的气体一起排向泵 外。这时，上转子也从泵入口封入v 体积的气体。当转子继续转到135时（图中d），上转子封入的气体与排气口相通，重复上述过程。180（图 e）位置和0位置是一样的。转子主轴旋转一周共排出四个v 体积的气体。水气路原理图 安装说明 泵必须安装在环境清洁、无灰尘或灰尘很少及其它不易沾污介质的场所。泵的吸气口应根据使用情况安装附设装置。 管路长度原则上尽可能短，少用接头和弯头。管路直径不应小于泵的口径。 在泵的进、排气管道上，最好安装上阀门，以达到停车后泵腔内仍保持真空。 确的安装和保养。当安装真空管路时，建议安装保养用的附件，如在进气管路和氮气吹扫管路上安装开关阀等。 泵必须安装在环境清洁、无灰尘或灰尘很少及其它不易沾污介质的场所。泵的吸气口应根据使用情况安装附设装置。 管路长度原则上尽可能短，少用接头和弯头。管路直径不应小于泵的口径。 在泵的进、排气管道上，最好安装上阀门，以达到停车后泵腔内仍保持真空。 工作时，控制冷却水温度在20~22之间即可，注意水温应不超25，以免产生尘垢。 由于真空泵很可能用于腐蚀性的环境，泵的可靠性将取决于正确的安装和保养。当安装真空管路时，建议安装保养用的附件， 如在进气管路和氮气吹扫管路上安装开关阀等。 处于安全需要，请确保进气和排气管路上附件的材料和密封性能与工艺气体相匹配。 日常维护 线.真空泵发运时并没有加油，油和泵分开发运。同样， 建议客户在退回之前也将油排放掉。 齿轮箱、进气腔加油，油位达到油位视窗的一半即可，为了确保加油量的准 确性，等待几分钟，直到油扩散到内部各个表面，将 加油塞重新盖好。 线.真空泵发运时并没有加油，油和泵分开发运。同样， 建议客户在退回之前也将油排放掉。 2.确认真空泵已停机，打开侧盖，使用漏斗并配上软 DGS齿轮箱、耦合腔和 DG 齿轮箱、进气腔加油， 油位达到油位视窗的一半即可，为了确保加油量的准 确性，等待几分钟，直到油扩散到内部各个表面，将 加油塞重新盖好。 根据建议的数量为泵组加油。DG齿轮箱 进气腔 DGS齿轮箱 耦合腔 总量 SHC629 1.9L 1.2L 3.1L U20 3.5L 6.5L 10L 界面介绍 远程节能 用于固定 频率的节能控制 远程控压 用于真空 度调节 本地 用于本地调试 当有报警时，屏幕显示报警项 下泵状态监控 当有报警时，屏幕显示报警项 远程真空度过程显示值 表示当前工作真空度 远程真空度设定显示值 表示需要调节到得真空度 本地上泵变频调速设定值 表示本地模式是上泵正常运行频率 远程变频节能设定值 表示在远程节能模式下下限频率 远程非节能模式上限设定值 表示远程控压模式下频率上限 下泵状态监控 即下泵热保护开关状态 远程节能模式切换按钮 切换远程节能模式和远程控压模式 IO监控界面系统