8英寸原子层沉积系统1套：反应腔应采用单腔体设计，最大兼容样品尺寸≥8英寸；采用线CFM；单源脉冲时间可精确控制到0.01s或更优； 4英寸原子层沉积系统1套：反应腔应采用单腔体设计，最大兼容样品尺寸≥4英寸；配备臭氧发生器，臭氧生成能力不小于110ng/ml；采用线CFM；单源脉冲时间可精确控制到0.01s或更优。

　　预算金额：人民币300万元 ，最高限价：人民币294万元， 合同履行期限：2024年9月30日前完成交付。

　　3.本项目的特定资格要求：1）投标人应为符合《中华人民共和国招标投标法》规定的独立法人或其他组织；2）投标人应为投标产品的制造商或其合法代理商，代理商投标应提供投标产品的制造商针对本项目的正式授权；3）投标人须在投标截止期之前在国家商务部认可的机电产品招标投标电子交易平台（以下简称机电产品交易平台，网址为：）上完成有效注册；4）本项目不允许联合体投标；5）本项目不接受分包或转包。

　　方式：通过复旦大学采购与招标管理系统（以下简称电子采购平台，网址为：）点击“校外用户登录”在线获取招标文件，逾期不再办理。

　　有兴趣的潜在投标人应于2023年11月18日起至2023年11月24日北京时间16:30，通过复旦大学采购与招标管理系统（以下简称电子采购平台，网址为：）点击“校外用户登录”在线获取招标文件，逾期不再办理。潜在投标人可进入电子采购平台后在“正在进行的项目”版块中查看项目进入在线获取招标文件流程并下载电子招标文件，电子招标文件售价￥0.0元。未按规定合法获取招标文件的潜在投标人将不得参加投标。获取招标文件需上传的资料（加盖公章后的扫描件）：

　　2）投标人为法人的，提供法定代表人授权书（其他组织需提供投资人/负责人授权书）；

　　3.1、投标人应在投标截止时间之前，按复旦大学采购与招标管理系统的操作步骤对其投标文件进行加密后递交（上传）至电子采购平台。

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　　3.2、开标程序在复旦大学采购与招标管理系统上进行，所有投标人应登录到系统内参加开标，并在规定时间内进行投标文件解密。

　　4.1 、投标人在投标前应在____（）或机电产品招标投标电子交易平台（）完成注册及信息核验。评标结果将在____和中国国际招标网公示。

　　4.2、本项目采用电子招标方式，并在电子采购平台（复旦大学采购与招标管理系统，网址为：）操作，进入平台后，投标人可在系统通知栏目下载供应商投标操作手册。电子采购平台技术咨询电线、招标人和代理机构不承担投标人准备投标文件和递交投标文件过程中产生的任何费用。