1、所加的真空泵油的牌号不正确。不同的真空泵油牌号，由于不同牌号油内的饱和蒸汽压不一样，所以其的结果是不一样的。解决办法：按厂家建议更换正确的线、另外也是由于真空泵油造成的真空度低的情况，就是由于被抽气体中含有水蒸气或有机物使真空泵油乳化变色，或者过脏。解决办法：放干净泵内的所有真空泵油，更换同类型的真空泵油，并解决被抽气体中水蒸气和有机物等不进入泵内，如加装干燥器。

　　3、气体的温度过高。解决办法：降低被抽气体的温度，或可以加一个相应的换热器。

　　4、旋片式真空泵内的油路不通或者不畅，泵腔内没有保持一定量的油量。解决办法：检查油路是否畅通，并加同类型的线号线、旋片与泵腔间隙变大。如果长期被抽气体内含有粉尘等，会造成旋片和定子之间磨损后的间隙变大。解决办法：检查间隙是否过大，更换新的零部件，如旋片、密封件等。